레이저·이산화탄소 건식 세정반도체·디스플레이·2차전지 분야 활용 소·부·장 기술특례상장…10월 코스닥 입성 최재성 아이엠티 대표가 30일 서울 여의도에서 질문에 답변하고 있다. [아이엠티 제공][헤럴드경제=권제인 기자] “HBM(고대역폭메모리)은 얇은 반도체칩을 여러 단 쌓아 만들기 때문에 사이사이 이물질을 제거하는 기술이 중요하다. 아이엠티는 건식 세정 기술로 HBM 수율을 높여 제조 업체들의 고통을 더는 ‘페인킬러’(Painkiller·진통제)다.”최재성 아이엠티 대표는 “한국의 종합 반도체 기업은 세계 1, 2위를 다투고 있지만, 장비 분야에서는 선도 기업이 떠오르지 않는다”며 “HBM 시장 개화와 함께 건식 세정 분야를 선도해 나가겠다”고 상장 후 포부를 이같이 밝혔다.2000년 설립된 아이엠티는 반도체 공정장비 기업으로 레이저와 이산화탄소를 활용한 건식 세정 장비 사업을 영위하고 있다. 현재 사용되는 습식 세정은 건조 과정이 필요하고 부품 특성에 따라 적용이 어렵다는 한계가 있다. 건식 세정은 기술과 부품이 정밀해짐에 따라 필요성이 크게 증가하고 있다. 아이엠티는 레이저와 이산화탄소를 이용한 건식 세정 기술을 두루 갖추고 있어 이물질 특성에 따라 다양한 기술을 사용할 수 있다는 데 강점이 있다.최 대표는 “초정밀의 세계로 갈수록 이물질 하나가 제품 불량으로 이어질 수 있다”며 “반도체, 카메라, 디스플레이 부품 중 일부가 스펀지처럼 물을 흡수하거나 윤활유를 포함할 경우 습식 세정에 한계가 있다”고 설명했다.특히, 인공지능(AI) 열풍으로 수요가 급증한 HBM에서 건식 세정의 역할이 커질 것으로 기대했다. HBM은 여러 개의 디램(DRAM)을 수직으로 연결해 데이터 처리 속도를 끌어올린 제품이다. 삼성전자와 SK하이닉스가 생산하는 HBM3는 디램을 12단 적층하는데 디램 사이에 이물질이 접합 불량을 일으킬 수 있다.최 대표는 “글로벌 디램 제조 기업과 협업해 이산화탄소 웨이퍼 세정 장비를 HBM 반도체 생산공정에 최초로 적용했다”며 “최근 ‘Ring Frame Wafer Cleaner’는 고객사로부터 퀄(품질인증)을 받았고, ‘Burn-in Board Cleaner’도 연내 추가 주문을 예상한다”고 말했다. 에어컨렌탈건조기렌탈세탁기렌탈가전제품렌탈가전렌탈헤드셋렌탈냉장고렌탈냉난방기렌탈오브제컬렉션 세탁기 렌탈엘지 4k 티비LG 케어솔루션 휘센 오브제컬렉션 타워에어컨 스페셜삼성 43인치 티비 렌탈삼성 통돌이 세탁기lg 55인치 tv삼성 비스포크 청소기 렌탈위니아 인버터 1등급 벽걸이 에어컨삼성 85인치 티비 렌탈코스텔 냉장고bespoke 에어드레서코모도 쇼파모션베드코지마 코지체어 렌탈뚜껑형 김치냉장고삼성 천장형 원형 냉난방기젠하이저 hd600 렌탈로라스타pos기삼성 85인치 tv 렌탈삼성 비스포크 제트봇 렌탈엘지 스마트 tvlg 70인치 티비성장판 자극기 렌탈삼성 비스포크 에어드레서브람스 아미 렌탈삼성 24kg 세탁기 렌탈상조렌탈전자금고 렌탈삼성 그랑데 건조기헤드셋블랙박스 렌탈LG 케어솔루션 휘센 타워 냉난방기 사계절에어컨비스포크 슈드레서위니아 제습기블루스카이 9000lg 시네빔노크온 냉장고삼성 블루스카이lg 85인치 tv스마트가든 렌탈캐리어 더뉴에어로 럭셔리 에어컨오브제 에어컨삼성 77인치 티비 렌탈디오스 인덕션위니아 건조기 렌탈빔프로젝트 렌탈상조결합공기살균기1way 에어컨